美国PMS颗粒仪 HPGP-101-C PDS-E高压气体探测器
高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。
HPGP与大多数无毒气体兼容,可用于许多反应性气体监测应用中
PDS-E(粒子数据系统-以太网)收集和报告HPGP-101-C探测器捕获的数据。
优点
降低成本
改进过程控制
可靠性
功能
应用